时间：2015年5月25日（星期一）上午9:30

地点：理六栋二楼多功能厅

报告题目：体声波传感技术进展

摘要：
近20年来，由于电信业滤波器应用的驱动，基于薄膜体声波谐振器（FBAR）的体声波（BAW）技术取得了显著的进展，例如BAW滤波器已经占据了手机应用中MEMS器件1/3的市场份额。FBAR具有高灵敏度、高工作频率（GHz）、低功耗、小尺寸、制造工艺IC兼容的特点，使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。与采用其它MEMS技术的同类传感器相比，基于FBAR的BAW传感器已经取得了更好的传感性能。报告简介了BAW传感器的基本概念、进展、存在的共性问题；以BAW微加速度计为例，介绍了我们在表头结构设计、力敏机理分析方法、微加工工艺流程、可集成读出电路设计等方面开展的部分工作；以集成胎压监测系统（TPMS）为例，展望了BAW技术在物联网应用中兼容多样化的物理量感测、无线通信和振动能量采集功能的通用性及其微系统集成能力。

高杨研究员简介：

高杨 研究员，2000年毕业于北京理工大学电子工程系，或博士学位；2004年上海交通大学电子学与固态电子学博士后流动站出站。现任中国工程物理研究院电子工程研究所科技委委员。主要研究方向为微电子机械系统（MEMS）及其应用。承担863、国防预研、国防基础研究、部级基金等科研项目10余项；获部级一等奖1项（排名2，863计划先进制造领域“十一五”标志性成果、教育部推荐参评国家奖）、部级二等奖1项（排名1）、部级三等奖5项（排名1、1、2、3、4）。授权/申请发明专利25项；第一作者发表学术论文70余篇，其中SCI/EI检索30余篇。已培养硕士22人（其中1人获2012年度“全国优秀共青团员”称号、5人获优秀硕士论文）。主要学术兼职有：中国微米纳米技术学会理事、西南科技大学信息学科兼职教授、中物院机械工程学会微纳米制造技术专委会秘书长、国家科技专家库专家、国家科技部国际科技合作专项评审专家、国家自然科学基金委员会同行评议人、《AIP Advances(SCI)》、《强激光与粒子束（EI）》、《传感技术学报（中文核心）》、《探测与控制学报（中文核心）》、《压电与声光（中文核心）》、《太赫兹科学与电子信息学报（科技核心）》等学术刊物审稿人。